Sputtered Thin Films for Lithium Ion Microbatteries: Recent Results on TiN Lithium Barrier Diffusion Layer, Au Negative and C-LiFePO4 Positive Electrodes
E. Eustache (Réseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie (RS2E), FR CNRS 3459, France, Institut des Matériaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502, 2 rue de la Houssinière, BP 32229, 44322 Nantes Cedex 3, France), J. Freixas (IEMN), O. Crosnier (CNRS-IMN), P. Tilmant (Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 – Université de Lille 1 Sciences et Technologies, BP 60069, 59652 Villeneuve d’Ascq cedex, France), D. Yarekha (IEMN), P. Roussel (UCCS), N. Rolland (IEMN UMR CNRS 8520), T. Brousse (Institut des Matériaux Jean Rouxel, CNRS, Réseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie (RS2E), FR CNRS 3459, France), and C. Lethien (Réseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie (RS2E), FR CNRS 3459, France, Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 – Université de Lille 1 Sciences et Technologies, BP 60069, 59652 Villeneuve d’Ascq cedex, France)